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快速高温退火设备RTA RSA-06
原厂品牌：
原厂介绍：
日本株式会社第一机电成立于1991年，总部位于日本东京都。第一机电经过长年累积的经验，提供加热相关的全部设备，包括工业炉，结晶育成设备，高频电源，一般加热四个领域。尤其是在结晶育成设备领域，由于可以提案的种类众多（CZ，VB，CVD，EFG，RTA，TSSG，PVT，MSG等），在国内外占有率卓然。特别是SiC晶体PVT，TSSG设备以及氧化镓的EFG设备，都在业界里具有最高占有率。
产品图片：
产品型号:
RSA-06
产品介绍：
- Ceramic， Metal Free的热场设计
- 可以实现± 10℃以下（1500℃） 的面内温度分布。
- 急加热急冷却的设计， 即使单片对应整体速度也很快
- 反应炉和冷却室是分开存在， 加热部可以保持均一高温。 （专利申请）
- 加热部一直是高温保持，综合运转成本会降低
- 本装置为高真空对应（可以使用干泵+涡轮分子泵）
- 最高可以对应2000℃。
- 我们将通过充分利用仿真软件来建议最佳的热场
基本规格（SPEC）
有任何相关问题请联系：022-28219577